早期的采用機械傳動，主要由測頭、三個測頭支架、三個測頭傳動機構(gòu)、計算機、工作臺、工作臺傳動機構(gòu)等組成。這種機械式的測量儀器結(jié)構(gòu)復雜、操作繁瑣，但是在當時的制造業(yè)中具有非常重要的地位。隨著計算機技術(shù)的發(fā)展，開始逐漸應用數(shù)控技術(shù)。不僅使得三坐標測量儀的操作更加簡單方便，而且提高了測量精度和效率，大大促進了工業(yè)制造的發(fā)展。隨著數(shù)據(jù)采集、處理、存儲技術(shù)的不斷更新，數(shù)控三坐標測量儀的應用范圍也越來越廣泛。

       應用于大型航空航天制造、鐵路、汽車工業(yè)等重大工程。相比于傳統(tǒng)的機械式三坐標測量儀和數(shù)控三坐標測量儀，光學三坐標測量儀具有測量精度高、速度快、分辨率高等優(yōu)點，使得大規(guī)模零件的精密測量變得更加容易實現(xiàn)。隨著工業(yè)制造的發(fā)展，人們越來越需要一種能夠快速、精確、方便的測量儀器。手持式三坐標測量儀的出現(xiàn)為此提供了新的解決方案。手持式三坐標測量儀不僅具有精準度高、操作簡單、測量效率高等優(yōu)點，而且適用于更廣泛的現(xiàn)場測量任務，便于用戶快速獲取數(shù)據(jù)、進行分析和決策。

       隨著激光技術(shù)在工業(yè)制造中的應用越來越廣泛，激光三坐標測量儀也應運而生。采用激光干涉儀測量三維空間內(nèi)物體點的坐標，擁有非接觸式測量，高精度、高速度的特點。目前，應用主要集中在高精度、高靈敏度的測量場景中，如精密儀器件加工質(zhì)檢、高速列車零部件檢測等領域。