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產(chǎn)品詳細
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技術參數(shù)
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技術特點
SiGNUM是一款高精度光柵產(chǎn)品,采用IN-TRAC自動調(diào)相參考零位,可讀取各種20μm柵距柵尺。SiGNUM光柵使用極為方便,其優(yōu)異的性能可與價格昂貴、柵距更小的光柵系統(tǒng)媲美。SiGNUM系統(tǒng)包含SiGNUMSR讀數(shù)頭、SiGNUMSi接口和直線或圓形增量式柵尺。直線柵尺包括RELMZeroMet柵尺和RSLM不銹鋼柵尺,而圓形柵尺包括RESM不銹鋼圓光柵和超高精度REXM圓光柵。
工作原理
與RG2和RG4讀數(shù)頭一樣,SiGNUM讀數(shù)頭光學器件采用對多個光柵周期進行平均的技術,有效濾除臟污等引起的非周期性特征。名義方波光柵條紋也被濾去,以在探測器上留下一個完美的正弦波形。這里使用的是一個多條紋結構,它非常細,能夠產(chǎn)生4個對稱相位信號形式的光電流。這些結合在一起可免去DC器件,并可產(chǎn)生具有高光譜純度和低偏置值的正弦和余弦輸出,同時保持500kHz以上的帶寬。
SiGNUM接口內(nèi)部采用動態(tài)信號調(diào)節(jié)功能生成超高保真的增量信號,其中包括自動增益控制(AGC)、自動偏置控制(AOC)和自動平衡控制(ABC)。因此,電子細分誤差(SDE)僅為±30nm,相當于0.15%的柵距。在SiGNUMSi接口內(nèi),通過CORDIC算法進行細分。
IN-TRAC參考零位嵌入增量式柵尺中,并由讀數(shù)頭中的分離光電檢測器進行檢測,產(chǎn)生參考零位輸出,在所有的速度下雙向重復精度都能夠達到單位分辨率。這種獨特的設計也受益于自動校準程序,該程序對參考零位進行電子定相,并優(yōu)化增量信號。
工作原理
與RG2和RG4讀數(shù)頭一樣,SiGNUM讀數(shù)頭光學器件采用對多個光柵周期進行平均的技術,有效濾除臟污等引起的非周期性特征。名義方波光柵條紋也被濾去,以在探測器上留下一個完美的正弦波形。這里使用的是一個多條紋結構,它非常細,能夠產(chǎn)生4個對稱相位信號形式的光電流。這些結合在一起可免去DC器件,并可產(chǎn)生具有高光譜純度和低偏置值的正弦和余弦輸出,同時保持500kHz以上的帶寬。
SiGNUM接口內(nèi)部采用動態(tài)信號調(diào)節(jié)功能生成超高保真的增量信號,其中包括自動增益控制(AGC)、自動偏置控制(AOC)和自動平衡控制(ABC)。因此,電子細分誤差(SDE)僅為±30nm,相當于0.15%的柵距。在SiGNUMSi接口內(nèi),通過CORDIC算法進行細分。
IN-TRAC參考零位嵌入增量式柵尺中,并由讀數(shù)頭中的分離光電檢測器進行檢測,產(chǎn)生參考零位輸出,在所有的速度下雙向重復精度都能夠達到單位分辨率。這種獨特的設計也受益于自動校準程序,該程序對參考零位進行電子定相,并優(yōu)化增量信號。